LVS系列
LVS 系列是一款搭载液体质量流量側量计和汽化器的精密型液体汽化供给整合装置。该设备拥有与液体物理性质相匹配的流程系统，相比鼓泡设备相比汽化供给更加稳定，相较于烘烤设备，拥有更大流量，且可以在常压条件下使用。
特点
- 只需连接至各种设备后便可立即使用的一体化设计
- 根据使用条件，可适用各种液体、流量规格
- 利于保养的设计结构，简洁清洁
- 内置各种安全警报设定功能
用途
LVS系列设备主要用于各种液体材料的研发。主要为CVD(化学气相沉积)提供薄膜沉积过程中所需液体材料的汽化供给。
液体原料举例
C2H5OH / C6H14 / C6H14 / C6H14O3 / C14H32OSi / (CH3CH2)2NH / H2O / HMDS / HMDSO / SiCl4 / TEOS / TiCl4 / 丙烯酸
※除上述液体之外，其他液体也可根据条件对应。请直接致电或邮件咨询LINTEC。
标准规格
| 使用环境温度/相对湿度 | 20～40℃/80%以下 | |
| 使用条件 | 连续运转 | |
| 电源电压 | 单相 | AC100V 50/60Hz AC200V 50/60Hz |
| 绝缘抵抗 | 500V绝缘抵抗计10MΩ以上 | |
| 程序设备 | 阀门驱动Air | 0.5～0.6MPa |
| 载气・泵送气体用N2 | 0.05～0.3MPa | |
| 电源 | 100VAC 200VAC |
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| 配管/筐体 | 配管 | BA管 |
| 液面计 | 悬浮式 | |
| 液体槽 | 500CC/1L/2L/5L | |
| 温度调节器 | 汽化器/2条配管线独立控制 | |
| 操作・设定 | 触摸屏 | |
选配规格
为满足客户需求，我们提供各种变更或追加产品规格的定制服务。
例如：EP管变更，追加气体检测仪、加热过滤器(VF Series)等，以及本地控制面板变更等服务。
