精度范围±1%S.P.的高性能数字式质量流量计。
搭载LINTEC独创的环境温度补足式质流传感器,可实现高速测量。
与传统传感器相比,可以在更低的温度下以更高的精度测量质量流量,因此寿命更长。可对应容易被高温热分解的气体,如O3。
![](https://lintec-mfc.co.jp/wp-content/uploads/2020/04/MM-3000L.jpg)
特点
- 精度范围±1%S.P.
- 使用温度5~50℃
- 金属密封件
- 无尘生产(粒子标准监控)
- 环境温度补足式质流传感器
- RS-485通讯接口
规格表
温度 | 压力规格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFM。特别定制规格请详细咨询LINTEC。
产品目录下载链接
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