该系列汽化器的最高设定温度为300℃，与VU-550相比汽化室更大，具有更大的加热器功率和更长的汽化出口距离。
密封件采用Au，最高加热温度可达300℃。与传统产品相比，汽化室更大，即使在大流量汽化的情况下也能优化汽化效率。此外，还搭载了LINTEC最大输出功率为240V、2400W的加热器。
与液体质量流量控制器联动的控制阀包括电磁控制阀、压电控制阀，也可选择无控制阀类型。
特点
- 高效率汽化
- 维护成本低
- 汽化室附近搭载液体流量控制阀
- 最高使用温度300℃
- 喷嘴到气体出口距离加长
- 多种控制阀可选
使用范例
高浓度大流量汽化
由于该汽化器的最高设定温度为300℃，即使使用少量的载气也可以实现稳定汽化，非常适合需要高浓度汽化供应的工艺。
作为过热蒸汽的发生源
通过与 LM-3700 系列结合使用，可以最大汽化15g/min的H2O。它不仅适用于实验，也适用于作为压力波动较小的过热蒸汽发生源的生产设备。
规格表
| 最高温度 | 载气流量 | 最大H2O汽化流量 | 最大TEOS汽化流量 | 密封材 |
| 300℃ | 0.8~130SLM | 15g/min | 50g/min | Au |
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