FL系列
FL系列产品搭载质量流量控制器，是控制多个气体的浓度及流量来达到稳定供给的设备。相比于购买混合气体，气体混合设备具有节约成本的优点。
特点
- 适时适量地供给混合气体
- 即使改变供给量也可自动供给一定浓度的混合气体
- 根据使用条件适用各种气体， 流量规格
- 利于保养的设计结构，简洁清洁
- 内置各种安全警报设定功能
- 根据液体物理性质设计，供给稳定性较高
用途
FL系列产品可代替运行成本较高的混合气瓶。由质量流量控制器控制超纯气体的流量，在缓冲罐中自动生成混合气体。通过质量流量计对使用量进行监测，以此切换混合气体的生成量模式。这使得FL系列的维护频率低于混合气瓶，降低了生产工厂的运行成本。
