BC系列
BC系列产品是利用MFC控制载气并导入内置液体槽，通过鼓泡的方式将液体汽化并供给的设备。
特点
- 利用MFC进行载气流量控制，并使用加热器加热以达到液体材料的稳定供给
- 通过控制整体温度来防止气体液化， 提高气体供给稳定性
- 只需连接至各种设备后便可立即使用的一体化设计
- 根据使用条件，可适用各种液体、流量规格
- 利于保养的设计结构，简洁清洁
用途
该系列产品在低浓度液化气的长期供给上优势明显，因此被广泛用于MOCVD(新型气相外延生长技术)的原料气体供给。此外，汽化部分的结构设计简单，无需根据液体种类更换设备，因此通常被用于对供给量精度要求不高但是液体种类繁多的实验场合。
