最大可对应N2、300SLM的大流量热交换器。
特点
- 最大流量300SLM
- 最高使用温度250℃
使用范例
半导体制造工艺中的干燥机
HX-0300C系列热交换器能够加热最大300SLM的流量。使用大流量的加热气体进行干燥可提高产量。此外，由于加热器部分不接触气体，因此非常适合用于需要清洁环境的半导体制造和FPD(平板显示器)制造工艺。
规格表
| 流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接触气体部分材质 | |
| 规格 | 300SLM | 30kPa | 1MPa | 250℃ | SUS316L不锈钢 |
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