LINTEC产品(质量流量控制器、汽化器、热交换器）所需配件及连接示例图。
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质量流量控制器电源设定显示器【RP-310】
用专用电缆将LINTEC的质量流量控制器和电源设定显示器（RP-310）连接，通过模拟通信对质量流量控制器的流量(瞬间或累计流量)进行设置并显示。
使用范例
- 带电位传感器的MFC流量设定
- 独立的 MFC 流量控制
- 显示MFC的累计流量
- 本地模式或远程（上部 PLC）进行MFC的流量控制
连接示例图
质量流量控制器电源供应单元【PS系列】
通过使用可连接多达9个质量流量控制器的电源单元（PS系列），可以通过个人电脑或PLC等控制多个MFC。
使用范例
- 为通过PC进行数字控制(例如 LabVIEW)的MFC提供电源供应
- 为通过PLC进行流量控制的MFC提供电源供应
连接示例图
MFC内联监视器【IM-10】
通过在质量流量控制器和设备电源之间连接内联监视器（IM-10），可以测量输入信号，输出信号，阀门开闭信号和电源电压。您可以实时检查质量流量控制器的运行情况。
使用范例
- 确认MFC的电源电压（±15V）
- 确认MFC的流量设定值（0～5V）
- 确认MFC的流量输出值（0～5V）
- 确认输入MFC的开闭信号
连接示例图
温度控制器【TCU系列】
通过将温度控制器（TCU系列）连接到LINTEC的气体加热器（HX系列）和液体汽化器（VU系列）等需要温度控制的产品，可以进行加热设备的电源和温度设置。
连接示例图
