气体流量测量时（通电时）的最高使用温度120℃，非通电状态下使用温度可高达150℃的耐高温质量流量计。
通过将高温气体接触部分与不耐热的基板部分分离，可在高温环境下测量气体流量。
特点
- 使用温度Max120℃
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- RS-485通讯接口
选配规格
- 加热模块
规格表
| 温度 | 使用圧力 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 | |
| low | 80~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFM。特别定制规格请详细咨询LINTEC。
MC-3000L-TN Series.pdf