质量流量控制器与流量计的差异
质量流量控制器和质量流量计都可以缩写为“Mass Flow(MF)”，但“质量流量计”装有质量流量传感器并输出流量，“质量流量控制器”则是以质流传感器的当前流量为依据，通过PID控制系统对内置控制阀进行反馈控制。
质量流量控制器与流量计对照表
 质量流量控制器 |  质量流量计 | |
|---|---|---|
| 用途 | 控制流体的质量和流量 | 测量流体的质量和流量 |
| 主要零部件 | 质流传感器、控制阀 | 质流传感器 |
| 有点 | 能够自动控制流量 | 压力损失较小 |
| 缺点 | 可能产生压力损失 | 无法控制流量 |
质量流量控制器(MFC)的用途有哪些？
质量流量控制器主要用于半导体、平板显示器和太阳能电池等·薄膜沉积工艺中的流量控制。具体来说，它用于控制半导体制造工艺前端工艺中CVD(化学气相沉积)反应气体的流量，PVD(物理气相沉积)的等离子体源以及蚀刻气体的流速控制。
除了薄膜沉积工艺，质量流量控制器还用于多个需要高精度流量控制的领域，包括分析设备、评估设备、燃料电池、燃气控制、生物技术、医疗、食品、实验室设备和工厂设备等。质量流量控制器在需要精确流体控制的各种应用场景中发挥着重要作用。
质量流量计(MFM)有什么作用？
质量流量计用于测量流体的质量流量。在气体的情况下，它用于测量所用气体的累积流量（使用量），或者通过测量由质量流量控制器控制的气体的流量来用作double check(双重检查)或简易参考装置。液体质量流量计还配有控制阀的控制信号，用于控制液体控制阀(CV-1000)和汽化器中内置的流量控制阀。
- 管理气体的使用量
- 对MFC所控制的流量进行确认
- 液体控制阀或汽化器控制阀的流量控制