用液体质量流量计测量质量及流量，采用后置汽化器将对全部液体进行汽化的方式。
直接汽化法的基本原理
直接汽化法使用液体质量流量计进行质量测量，并通过汽化器内置的控制阀将流量控制后的液体连续引入汽化室。在汽化室中，液体被瞬间汽化。虽然所控制的是液体，但瞬间汽化后的气体质量不会改变，因此，如果是可以瞬间连续汽化的汽化器，液体主要的质量流量=汽化器出口处的气体质量流量。
由于汽化浓度的要素由MFC直接控制，因此稳定性优越，可进行高浓度汽化，这是鼓泡法难以实现的。
特点
- 无需较多温度管理
- 直接对流量进行控制，精度与稳定性优越
- 支持减压、常压条件下的汽化供给
- 支持大流量的汽化供给
汽化器产品一览
Carrier gas载气式汽化器
该系列汽化器通过加热流量控制后的液体和载气，降低液化气体的分压比，以提供稳定的汽化供应。
Non-Carrier gas无载气式汽化器
该系列为无载气汽化器，可实现连续汽化，压力波动小。
其他相关产品
汽化器的特点及选配规格介绍
高效率汽化
LINTEC系列汽化器搭载进行液体流量控制的液体喷嘴和载气喷嘴，该双流体喷嘴结构会发生文丘里效应。即使是微小流量，通过将液滴喷射到正下方的汽化室中，也可实现稳定且连续的液体供应。通过接触来自汽化室的辐射热和汽化室侧面，可以高效地对微型雾进行汽化。
微小流量汽化
微小单位液体的流量控制需要非常精密的设计。对于调节流量的控制阀，需要搭载能够进行精密设置的压电致动器，从控制单元到汽化室的死体积较小也是条件之一。
最高使用温度300℃
在CVD(化学气相沉积)和ALD(原子层沉积技术)的制造工艺中，常见汽化对象为沸点200℃以上且蒸气压较低的有机金属化合物。LINTEC的汽化器采用Au金属密封和断热结构，具有耐热性以及维护成本较低的特点。
维护成本小
汽化器的寿命在很大程度上取决于原料的物理性质和纯度。因此，根据汽化原料的不同，需要进行定期维护。LINTEC在设计时充分考虑了这一点，维护成本大大降低。
控制阀结构
汽化室附近搭载液体流量控制阀的结构设计。根据液体质量流量计的流量信号控制紧邻汽化器的控制阀。由于引入汽化室的流速受到控制，因此死体积小，汽化反应时间缩小。
多个液体流量控制阀
通过在汽化室附近安装多个液体流量控制阀，可以同时或交替地将单独的液体引入汽化室汽化。
无控制阀结构
汽化室附近不搭载液体流量控制阀的结构设计。它可以与您现有的液体质量流量控制器或不需要C.F.的科里奥利式液体质量流量控制器一起使用。
大流量汽化
为了最大限度地发挥辐射热的效果，我们通过加长汽化室，实现了大流量汽化。
节省空间
采用紧凑型设计，表面间距为78mm。即使与质量流量计串联使用，表面间距也仅为203mm，节省空间。