可确保精度范围在±1%S.P.（设定值）的高性能数字通讯质量流量控制器。
搭配LINTEC独创的环境温度补足式质流传感器，即使在低温下也能实现高精度的流量测量。 它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化，可以对臭氧等高度可降解的气体进行流量控制。
可搭载的选配规格包括：液化气体、小流量 F.S.、大流量范围、表面实装和接头名称。
特点
- 精度范围±1%S.P.
- 使用温度5~50℃
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- 周围温度补偿式传感器
- RS-485数字通讯接口
选配规格
- 小流量F.S.
- 液化气体
- 大流量范围
使用范例
半导体生产前端工艺
由于CVD（化学气相沉积法）、ALD（原子层沉积法）镀膜设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。
此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 选择LINTEC高性能质量流量控制器MC-3000L，则可选配【液化气体】【最高工作温度50°C（可选至55°C）】等相应规格。
分析设备
分析设备可能需要控制极小流量，但一般质量流量控制器的最小F.S.为5SCCM，因此无法对应。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低流量范围。
此外，高性能质量流量控制器MC-3000L还标配死体积较小的隔膜阀。
详情请致电或邮件咨询。
规格表
| 温度 | 最下压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
产品目录下载链接
下载产品说明书请点击此处