最高使用温度可达300℃的高温高效率汽化器。
该系列同时搭载液体喷嘴与载气喷嘴(0.8~180SLM)的双流体喷嘴，可实现高效率汽化。
标配金属密封件和耐热结构，可实现最高300℃下的液体汽化。
此外，该汽化器可选配搭载多个液体控制阀，可同时对原料液、稀释液、清洗液等多种液体进行流量控制和汽化。
特点
- 高效率汽化
- 最高使用温度300℃
选配规格
- 多个液体流量控制阀
使用范例
高沸点液体的汽化
该系列搭载双流体喷嘴结构与最高加热温度为300℃的耐热结构，非常适合Low-K(低介电常数材料)、High-k(高介电常数材料)以及沸点高、蒸气压低的金属材料的汽化。
若选择在汽化室附近安装多个液体控制阀，则可以同时或交替地将原料液、稀释液、溶剂等液体引入汽化室汽化。
规格表
| 最高温度 | 载气流量 | 最大H2O汽化量 | 最大TEOS汽化量 | 密封件 |
| 300℃ | 0.8~130SLM | 5g/min | 20g/min | Au |
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