气体流量控制的最高使用温度120℃、非通电状态下使用温度可高达150℃的耐高温质量流量控制器。
通过将高温气体接触部分与不耐热的基板部分分离，可以实现高温环境下的气体控制。
接气体加热模块采用不锈钢材料SUS-316L，密封材料采用Au，可对应腐蚀性气体。
在标准配置基础上，还可选配防止液化气体再次液化的低压差规格，以及接触气体部分专用加热模块。
【MC-3000L-TC】
特点
- 使用温度Max120℃
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- RS-485数字通讯接口
选配规格
- 液化气体
- 加热模块
使用范例
液化气体、升华气体流量控制
CVD（化学气相沉积法）和 ALD （原子层沉积法）中所使用的气源不仅限于常温常压下的气体，也可能是常温常压下的液体或固体原料。液体和固体在常温条件下产生的气体较少，很难利用压差原理来控制流量。因此，MFC的工作压力是通过加热原料罐并增加蒸汽压力以产生压差来确保的。MC-3000L-TC能够进行高温控制和低压差工作，是液化和挥发性气体流量控制的理想选择。
规格表
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 | |
| Low | 80～100℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
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