该系列是采用高效双流体喷嘴结构的最新型号汽化器。

与VU-450系列相比,该系列汽化器通过增加汽化室的体积(到Gas Outlet 的距离加长),改善了对流时间和热交换面积,可避免未气化完成的雾化液体進入反应腔,由此可实现更大流量的汽化。

最适合Low-K(低介电常数材料)、High-k(高介电常数材料)和各种低蒸气压的金属材料的大流量汽化供应。

该汽化器为阀门集成汽化器,若与LM-3000L结合使用,可直接控制即将进入汽化器的液体流量,从而提高气体流量控制的应答速度。

VU-440
高效率液体汽化器VU-440

特点

  • 高效率汽化
  • 维护成本低
  • 汽化室附近搭载液体流量控制阀
  • 喷嘴到气体出口距离加长

使用范例

半导体材料的汽化供给CVD、ALD

通过对汽化室进行增扩,从中央双流体喷嘴喷出的雾气比VU-450扩散得更多,可以稳定地实现液体为TEOS时30g/min、H2O时5g/min的大流量汽化。

规格表

最高温度载气流量H2O汽化量TEOS汽化量密封材
200℃0.8~130SLM5g/min30g/minAu、全氟橡胶

※产品详情请直接电话或邮件咨询LINTEC

产品目录下载链接

VU-0440N.pdf