气体/液体供给设备 LINTEC作为流量和流体控制设备制造商,为客户提供从气体面板到流体供给设备的多种产品定制服务。 液体汽化供給设备 液体汽化供给设备(直接汽化法) LVS系列产品是一种利用直接汽化法,使用液体质量流量计MFM和汽化器来实现液体汽化供给的设备。 MFC烘烤法汽化设备 SVC系列产品是一种利用烘烤法,通过加热液体槽使液体汽化,并用耐高温MFC供给气体的设备。 鼓泡法汽化设备 BC系列产品是一种利用鼓泡法,使用MFC控制载气,将液体槽内的液体汽化并供给的设备。 其他供给设备 复数气体混合设备 FL系列产品搭载质量流量控制器,是控制复数气体的浓度及流量来达到稳定供给的设备。 液体自动供给设备 LSS系列产品是将液体从单一内置液体槽供应至复数液体槽的自动供给设备。 LINTEC设备的优势 只需与各种程序设备相连接,便可轻松供给所需的气体/液体,从而减少客户的工作量。 充分考虑气体/液体种类、流量、使用环境等各种条件因素,提供满足客户需求的设备定制服务。