搭载微小流量液体传感器并内置PID控制器的高性能数字通讯液体质流控制器。
LM-3000L系列搭载高性能液体流量传感器，可对C2H5OH换算满量程0.1g/min～20g/min实现高度精确的流量测量。
由于它具有内置PID控制器，因此可以通过与LINTEC的阀门搭载产品（汽化器，控制阀）结合使用来控制液体的流量。
特点
- 微小流量的液体测量
- 液体气化的流量控制
- 精度范围±1%F.S.
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- RS-485数字通讯接口
选配规格
- 耐高温
- 无菌蒸汽（SPI）处理
使用范例
液体汽化流量控制
通过将液体质量流量计（LM-3000L）与LINTEC内置控制阀的汽化器（VU）相结合，可以控制在汽化室之前引入汽化器的流量。因此，实现了应答速度快的汽化流量控制，且不受汽化器热量的影响。
液体流量控制
通过将LINTEC的控制阀（CV-1000）与带有内置PID控制器的液体质量流量计（LM-3000L）相结合，可以用作液体质量流量控制器。
规格表
| 型号 | 温度 | 所需压差 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. |
| LM-3112L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1%F.S. | 0.1g/min | 1.0g/min |
| LM-3212L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1%F.S. | ~6.0g/min | |
| LM-3712L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±2%F.S. | ~30g/min |
※此表仅表示一般规格的液体用MFM。 根据选配规格变化。
※F.S.根据液体种类不同而变化。详细请咨询LINTEC。
LM-3000L Series.pdf