SVC系列
SVC系列产品通过加热内置液体槽使液体汽化，并用耐高温MFC对流量加以控制的汽化供给设备。该设备拥有与液体物理性质相匹配的设计构造，可以实现稳定的流体供给。
特点
- 通过控制整体温度来防止气体液化， 提高气体供给稳定性
- 只需连接至各种设备后便可立即使用的一体化设计
- 根据使用条件，可适用各种液体、流量规格
- 利于保养的设计结构，简洁清洁
- 内置各种安全警报设定功能
用途
SVC系列用于生产设备所需的液体材料的汽化供给。例如，用于沉积DLC等碳基薄膜的C7H8，光纤制造中不可或缺的SiCl4，以及半导体制造工艺的一种——光刻胶剥离的灰化工艺中用到的H2O。该设备一般需要MFC的输出端为真空（减压）条件下才能使用。
液体原料举例
CH3OH / C5H5N / C5H8O2 / H2O / HMDS / HMDSO / OMCTS / SiCl4 / TEOS / TMCTS
※除上述材料外，根据条件(输出端减压、去除蒸气压等)对应。请直接致电或邮件咨询LINTEC。
标准规格
| 使用温度/相对湿度 | 0~40℃/80%以下 | |
| 使用条件 | 连续运转 | |
| 电源电压 | 单相AC100V 50/60Hz | |
| 绝缘抵抗 | 500V绝缘抵抗计10MΩ以上 | |
| 温度调节器 | MFC/液体槽/配管 3条管线独立控制 |
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| 气动阀操作 | 流量面板开关 | |
| 程序设备 | 阀门驱动用Air | 0.5～0.6MPa |
| 吹扫用N2 | 0.05～0.3MPa | |
| 电源 | 100/200VAC | |
| 配管/筐体 | 筐体内排气 | φ50阻尼器 |
| 配管 | BA管 | |
| 液面计 | 悬浮式 | |
| 液体槽 |
500CC/1L/2L/5L |
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选配规格
为满足客户需求，我们提供各种变更或追加产品规格的定制服务。
例如：EP管变更，追加气体检测仪、触摸屏等服务。
