搭载液体质流传感器并内置压电控制阀的高性能数字通讯液体质流控制器。
该产品标配液体用流量传感器与高性能压电控制阀。通过使用液体质流传感器测量当前流量，并反馈控制压电阀的开度，从而实现高速的且自动地控制液体质量流量。
通过使用液体质量流量传感器测量电流质量流量并反馈控制压电阀的打开，可以高速自动控制液体质量流量。
特点
- 微小流量液体控制
- 精度范围±1%F.S.
- 无尘生产（粒子标准监控）
- RS-485数字通讯接口
使用范例
无脉动的微小流量连续控制
计量泵是一种方便的产品，可以流动一定量的液体，但它具有引起脉冲的运动部件。采用LINTEC的液体质量流量控制器，若以适当且恒定的压力加压，则可实现无脉冲且稳定的流量控制。
输出端为真空设备下的液体控制
如果输出端处于真空条件下，用容积式控制器测量液体会逸出，从而难以控制流速。LINTEC的液体质流控制器（LC-3000系列）集成了控制阀和质流传感器，不受输出端压力影响，可在适当的压差条件下控制流量。
规格表
| 型号 | 温度 | 所需压差 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. |
| LM-3102L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1.0%F.S. | 0.1g/min | 1.0g/min |
| LM-3202L | 20~30℃ | 50~300kPa | ±1.0%F.S. | ~2.0g/min | |
| LM-3702L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±2.0%F.S. | ~30g/min |
※此表仅表示一般规格的液体用MFC。
※F.S.根据液体种类不同而变化。详细请咨询LINTEC。
LC-3000L Series.pdf