VR功能(流量范围可变)、RS-485(数字通讯接口)、金属密封材为标准配置的MFC。
搭载VR 机能, 一台质量流量控制器, 可适用各种不同气体以及需求流量的变更, 减少库存, 降低用户成本。最适合搭载于实验设备。
特長
- VR功能
- 金属密封材
- RS-485数字通讯接口
选配规格
- RS-232数字通讯接口
使用范例
实验设备
在使用实验设备和原型时,会面对多种气体并频繁改变流量范围,这种情况下需要多个质量流量控制器。MC-700系列是一款搭载VR功能的质量流量控制器,可根据需要改变气体类型和流量,一台MFC即可支持多种规格,最经济适用。此外,密封材为SUS-316L金属密封,可对应高腐蚀性气体。
简化MFC的备用品种类
搭载VR功能的MC-700可以通过一个装置处理包括腐蚀性气体在内的多种气体类型和流量范围,且支持多种使用条件。这使从前需要多个质量流量控制器作为备用品的时代成为历史。同时,通过简化MFC的备用品数量,亦可在一定程度上节约成本。
规格表
温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 50SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
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