应答时间200msec的超高速质量流量控制器（MFC）。
通过使用热传感器，实现100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC独创的非接触式热流量传感器和压电控制阀，可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。
流量精度可达到±1.0％S.P.，数字通信方式可选择DeviceNet或EtherCAT。
产品特点
- 超高速流量控制200msec
- 精度±1%S.P.
- 使用温度5～50℃
- 金属密封材
- 无尘（粒子标准监控）
- 周围温度补偿传感器
- 支持EtherCAT通讯方式
- 支持DeviceNet™通讯方式
超高速流量制御
使用范例
快速刻蚀工艺
在半导体制造工艺中，在微细化的同时还需要提高产量。对于控制反应气体流量的质量流量控制器来说，缩短流量控制开始(启动)时间的需求日益增加。超高速质量流量控制器【MC-7000】因为使用了非接触式热式流量传感器，流量传感器与流量测量气体不接触，可实现200msec的超高速响应。同时，因为非接触式的特点，该流量控制器可用于测量腐蚀性气体。
产品规格表
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
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