DeviceNet通讯接口专用质量流量控制器。
最新的半导体制造设备上所搭载的控制器不再采用模拟通讯，而是采用开放式现场网络通讯技术，以达到高速控制和简化布线的目的。
在LINTEC，我们领先于行业开发了符合SEMI认证标准的DeviceNet™通讯专用质量流量控制器MC-5000L。该系列产品配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC独创的环境温度补足式质流传感器，还支持液化气体等多种选配规格。
特点
- 精度范围±1%S.P.
- 使用温度5～50℃
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- 环境温度补足式质流传感器
- DeviceNet™通讯
选配规格
- 小流量F.S.
- 液化气体
- 大流量范围
使用范例
配线简化，节省成本
越来越多的半导体设备采用现场网络进行控制操作。DeviceNet通讯专用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA转换器或IO板，具有成本低，配线少的特点。
规格表
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
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