用于半导体生产工艺的高性能质量流量控制器的EtherCAT通讯版本，符合SEMI认证。EtherCAT通讯用于半导体制造设备的高速传输系统。
标配包括半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC独创的环境温度补足式质流传感器，支持液化气体等选配规格。
特点
- 精度范围±1%S.P.
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- 环境温度补足式质流传感器
- EtherCAT通讯
选配规格
- 小流量F.S.
- 液化气体
- 大流量范围
使用范例
EtherCAT通讯设备的统一化
越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通讯接口（数字I/F），用于高速控制机械臂等运输系统。EtherCAT通讯有65,536个节点，MFC的所有测量系统和驱动系统元件都可以与EtherCAT通讯统一。
规格表
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
