最小工作压差800Pa（6 Torr）的低压差质量流量控制器。
搭载LINTEC独创的环境温度补足式质流传感器抵压损构造，在±1%F.S.精度范围内减少压力损失。
搭载独创的高性能压电控制阀，在低压差环境下亦可实现稳定、精确的流量控制。
特点
- 低压差（800Pa）
- 使用温度5～50℃
- 金属密封材
- 无尘生产（粒子标准监控）
- 环境温度补足式传感器
- RS-485数字通讯接口
选配规格
- 微小流量F.S.
使用范例
低蒸气压气体在低温环境下的流量控制
MC-3000S系列是采用LINTEC独自开发的抵压损构造的质量流量控制器，如果二次侧为真空状态，即使在常温条件下也能对H2O等液体原料进行流量控制。推荐使用ITO溅射方法，该方法将少量水蒸气发送到真空室。 此外，即使是低蒸气压的固体原料（如 XeF2），常温条件下也可以进行流量控制。
減圧タンク容器（SDS容器）の流量制御 减压罐容器（SDS容器）的流量控制
离子注入设备中使用AsH3和PH3等特殊材料气体，并且通常使用安全输送源Safe Delivery Source（SDS）容器来实现安全稳定的输送。SDS填充的罐压低于大气压，需使用对应低压差环境的MFC。搭载低压差结构的MC-3000S系列产品则可以满足这一需求。
规格表
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 800Pa | 133kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 2SCCM | 30SCCM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
