采用橡胶密封的质量流量控制器，具有制作周期短、成本低的特点。
适用于Ar、N2等惰性气体及Air的流量控制。由于型号固定，所以制作周期较短。
选配VR（可变流量）功能可改变流量范围。支持RS-485数字通信接口。
特点
- 经济适用
选配规格
- 可变流量（VR）功能
- RS-485通讯接口
使用范例
PVD
在PVD溅射镀膜设备中，通常使用Ar（氩），这是一种稳定的、耐化学反应的惰性气体。 如果您需要使用MFC控制Ar之类的惰性气体的流量，我们建议使用经济型质量流量控制器（MC-10RC）。
惰性气体分析、实验设备
如果流量控制的目标气体不会腐蚀密封材中的树脂部分，我们建议使用经济型质量流量控制器MC-10RC。此外，可选的VR功能可支持不同气体类型与流量范围。该产品是简单实验、分析设备的理想选择。
规格表
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 150SLM | 橡胶 |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
