压电控制阀CV-3000

搭载于高性能质量流量控制器的流量控制阀。

搭载压电致动器的高性能压电控制阀，可实现对压力或气体流量的高速控制。控制阀开度外部设定范围0～5V。

接气体加热模块采用不锈钢材料SUS-316L，密封材料采用Au，可对应腐蚀性气体。

特点

在许多实验和制造过程中需要恒定的腔室压力。通过组合压力计、PID控制器和CV-3000压电控制阀，可以控制压力以保持恒定。

温度	最小差圧	最大差圧	最大流量	密封件	应答时间
0~50℃	50kPa	300kPa	10SLM	Au	0.5sec以下

※此表仅表示一般规格的压电控制阀。　根据选配规格不同而变化。