一种将液体容器加热并由气体用耐高温质量流量控制器控制液化气体的方法。
MFC烘烤法的工作原理
烘烤法通过加热液体槽使液体汽化，液体槽压力受到液体蒸气压影响而上升，液化气体通过MFC流向腔室。
通过MFC上搭载的质量流量传感器测量液化气体的质量流量，并调整控制阀的开度来控制液体汽化流量。MFC的耐热温度和工作压差是烘烤法的关键要素。
烘烤法虽然可以供给浓度为100%的液化气体，但必须在气体MFC的耐热温度以下使用，并且对液体的蒸气压和供给量有限制。为了解决这些问题，LINTEC自主研发并投产了应用直接汽化法的一系列汽化器。
特点
- 不使用载气
- 使用质量流量控制器(MFC)，应答速度快
- 直接控制我气体流量，更加精确
