该系列汽化器的最高设定温度为300℃,与VU-550相比汽化室更大,具有更大的加热器功率和更长的汽化出口距离。

密封件采用Au,最高加热温度可达300℃。与传统产品相比,汽化室更大,即使在大流量汽化的情况下也能优化汽化效率。此外,还搭载了LINTEC最大输出功率为240V、2400W的加热器。

与液体质量流量控制器联动的控制阀包括电磁控制阀、压电控制阀,也可选择无控制阀类型。

VU-462
VU-462

特点

  • 高效率汽化
  • 维护成本低
  • 汽化室附近搭载液体流量控制阀
  • 最高使用温度300℃
  • 喷嘴到气体出口距离加长
  • 多种控制阀可选

使用范例

高浓度大流量汽化

由于该汽化器的最高设定温度为300℃,即使使用少量的载气也可以实现稳定汽化,非常适合需要高浓度汽化供应的工艺。

作为过热蒸汽的发生源

通过与 LM-3700 系列结合使用,可以最大汽化15g/min的H2O。它不仅适用于实验,也适用于作为压力波动较小的过热蒸汽发生源的生产设备。

规格表

最高温度载气流量最大H2O汽化流量最大TEOS汽化流量密封材
300℃0.8~130SLM15g/min50g/minAu

※产品详情请直接电话或邮件咨询LINTEC

产品目录下载链接

VU-0462N.pdf

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