具有双流体喷嘴和大型汽化室的高效率汽化器。
搭载液体喷嘴和载气喷嘴（0.8~180SLM），该双流体喷嘴结构可实现高效汽化。与VU-430相比，通过增加汽化室的体积，对流时间和热交换面积得到改善，使大流量汽化成为可能。
该汽化器为阀门集成汽化器，若与LM-3000L结合使用，可直接控制即将进入汽化器的液体流量，从而提高气体流量控制的应答速度。
特点
- 高効率汽化
- 维护成本低
- 汽化室附近搭载液体流量控制阀
使用范例
大流量汽化
通过对汽化室进行增扩，从中央双流体喷嘴喷出的雾气比VU-430扩散得更多，可以稳定地实现液体为TEOS时20g/min、H2O时5g/min的大流量汽化。
规格表
| 最高温度 | 载气流量 | 最大H2O汽化流量 | 最大TEOS汽化流量 | 密封件 |
| 200℃ | 0.8~130SLM | 5g/min | 20g/min | Au |
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