搭载液体喷嘴和载气喷嘴的双流体喷嘴结构高效率汽化器。
液体喷嘴和载气喷嘴（0.05~4SLM）的双流体喷嘴在汽化室前汇合，以精细地喷洒液体。被微小雾化的液体可以通过辐射热被高效汽化。
汽化室顶部的液体控制阀通过接收液体质量流量计(LM-3000L)的流量信号来调节阀门开度。通过控制流量，可以实现稳定的汽化供给。
特点
- 高效率汽化
- 维护成本低
- 汽化室附近搭载液体流量控制阀
使用范例
低蒸气压材料的汽化
该汽化器搭载最高温度为200℃的耐热结构和双流体喷嘴，即使是Low-K(低介电常数材料)、High-k(高介电常数材料)和各种低蒸气压的金属材料，也能实现高效且稳定的液体汽化供应。通过将加热模块的温度调节分为侧面和底部，可以实现精确的温度控制。即使是容易发生热变性的材料，也可以实现精细的温度控制。
规格表
| 最高温度 | 载气流量 | 最大H2O汽化流量 | 最大TEOS汽化流量 | 密封件 |
| 200℃ | 0.05~4SLM | 1.0g/min | 10g/min | Au |
※产品详情请直接电话或邮件咨询LINTEC
产品目录下载链接
下载产品使用说明书请点击此处