搭载压电致动器的小型无载气式汽化器。
汽化室附近搭载压电控制阀，可高速、精确地控制汽化量。
经流量控制后的液体被扩散到网状过滤器中并在汽化室中加热，即使是微小流量也能实现稳定的汽化。
VU-3100
特点
- 无载气式汽化方式
- 微小流量汽化
- 汽化室附近搭载液体流量控制阀
- 紧凑型设计
- 维护成本低
使用范例
TEOS的无载气式汽化
利用高温MFC进行的无载体式汽化存在汽化量较少的缺点。VU-3100系列搭载LINTEC独创的无载体式结构，尽管体积较小，却能够提供TEOS条件下5g/min(538SCCM)的汽化供给。
规格表
| 最高温度 | 必要压差 | 最大TEOS汽化流量 | 密封件 |
| 150℃ | 50～300kPa | 5g/min | Au |
※产品详情请直接电话或邮件咨询LINTEC
