该系列汽化器不需要使用载气，只要汽化材料即可完成液体汽化。
经流量控制后的液体扩散到汽化室入口处的网状过滤器上。即使没有载体也能稳定地进行液体汽化。
汽化器最高设定温度为200℃，可实现H2O等各种液体原料的无载体式汽化供给。
VU-3000
特点
- 无载气式汽化方式
- 维护成本低
使用范例
灰化、清洁工艺
H2O通常用于灰化（氧化）等清洁工艺，无载气式汽化供给通常是以耐高温MFC为基础的烘烤法。然而，烘烤法具有输出端（减压）和供给量的条件限制。VU-3000系列汽化器不受输出端压力条件限制，可以在没有载体的情况下提供H2O 5 g/min (6.2 SLM)的汽化供给。
大气压条件下的H2O气体评估
即使在大气压条件下，VU-3000系列也可以瞬间将引入汽化器的H2O(液相)汽化。因此，通过液体MFC对液体流量进行控制，并将其引入汽化器，则可以精确把控所产生的H2O气体量。该方法可用于评估大气条件下燃料电池等生成水蒸气的情况。
规格表
| 最高温度 | 必要压差 | 最大H2O汽化流量 | 密封材 |
| 200℃ | 250～300kPa | 5g/min | Au、全氟橡胶 |
※产品详情请直接电话或邮件咨询LINTEC
