压电控制阀小型汽化器VU-206

搭载压电控制阀，对应微小流量汽化需求的小型液体汽化器。

汽化室附近搭载能够进行高速、高精度微小流量控制的压电致动器。该结构的死体积较小。

最大支持TEOS 7g/min，H2O g/min汽化量的紧凑型汽化器。通过将载气（最大流量14SLM）和液体混合并引入汽化室，可以实现稳定的汽化供给。

特点

该汽化器采用紧凑型设计，结构小巧，即使在连续的微小流量下也能实现精确的流量汽化供给，且不受输出端的压力影响。

除了半导体制造工艺中经常使用的TEOS外，还可以对TEB和TEPO等各种液体进行汽化供给。此外，还可以通过串联汽化器同时汽化供应多种液体。

最高温度	载气流量	最大H2O汽化流量	最大TEOS汽化流量	密封材
160℃	0.1~14SLM	0.5g/min	7g/min	Au

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