不采用金属材料的高效率石英汽化器QV-1000。
该系列汽化器的液体接触部件完全采用石英玻璃材质(无金属),可避免金属污染(metal contamination)的风险。
双流体喷嘴和间隙结构实现了高效稳定的汽化,H2O的情况下可实现最大15g/min的汽化量。
特点
- 无金属材质
- 高效率汽化
- 无阀门结构
使用范例
可能造成金属污染的液体(超纯水等)的汽化
超纯水(H2O)通过金属材质的液体接触部件,可能造成金属污染。该系列汽化器的液体接触部件为石英材质,可最大限度避免金属污染,最适合超纯水等液体材料的汽化供给。
规格表
最高温度 | 耐圧 | 载气流量 | 最大H2O汽化量 |
200℃ | 200kPa(A) | 10SLM | 15g/min |
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