加热器与过滤精度达 0.1μm的过滤器同时搭载。

该系列可用于半导体制造工艺中的液化气体过滤，接触气体部分材完全采用SUS316L不锈钢材质。该系列还搭载了LINTEC自主研发的低压损结构。

特点

  • 0.1µm 的过滤精度
  • 最高使用温度达200℃
  • 全金属无尘构造
VF-0201N

使用范例

该系列过滤器可安装在汽化系统后方，用于消除可能导致产品缺陷的微粒及雾状物。

产品目录下载链接

VF Series.pdf