可将50SLM的N2气体加热至200℃的小型热交换器。
特点
- 面间距158㎜×长度80㎜×高80㎜的紧凑型设计
- 最大流量50SLM
- 最高使用温度200℃
- 接触气体部分接采用SUS316L不锈钢材质，可加热对其无腐蚀性的气体
- 真空、加压条件下也可使用
使用范例
导入排除设备前的稀释N2气体加热
半导体制造设备和FPD(平板显示器)制造设备情况下，反应气体被送到排除设备的过程中，会部分粘附在配管上形成堵塞。通常，用热N2气体稀释是解决方法之一，但是仅通过管道外部带状加热器加热无法得到理想的效果。紧凑型热交换器HX-0050A系列可充分加热流体，最大限度减少此类堵塞问题的发生。
规格表
| 流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接气体部分材质 | |
| 规格 | 50SLM | 9.8kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不锈钢 |
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