可最高将250SLM的N2气体加热至300℃的小型气体加热器。
特点
- 高240㎜×宽101㎜×长75㎜的紧凑型设计
- 最大流量250SLM
- 最高使用温度300℃
- 2台并用可以将500SLM加热至最高300℃
- 设定温度与出口处气体温度差异较小
【HX-0301L】
使用范例
晶片翘曲矫正
晶片可能会因反复沉积而翘曲。对策之一便是用高温大流量的热风进行矫正。如果同时使用两台HX-0301系列高温气体加热器，则可以产生300℃、500SLM的高温大流量，是晶片翘曲矫正的理想选择。
规格表
| 流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接触气体部位材质 | |
| 规格 | 250SLM | 94kPa | 1MPa | 300℃ | SUS316L不锈钢 |
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