最大可对应N2、300SLM的大流量热交换器。

HX-0300C

特点

  • 最大流量300SLM
  • 最高使用温度250℃

使用范例

半导体制造工艺中的干燥机

HX-0300C系列热交换器能够加热最大300SLM的流量。使用大流量的加热气体进行干燥可提高产量。此外,由于加热器部分不接触气体,因此非常适合用于需要清洁环境的半导体制造和FPD(平板显示器)制造工艺。

规格表

 流量(N2换算)压力损失(N2)耐压(G)使用温度接触气体部分材质
规格300SLM30kPa1MPa250℃SUS316L不锈钢

※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。

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HX Series.pdf

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