最高加热温度200℃的小型气体加热器。
特点
- 面间距160㎜×长度55㎜的紧凑型设计
- 可将10SLM的N2加热至200℃
- 接触气体部分接采用SUS316L不锈钢材质，可加热对其无腐蚀性的气体
- 真空、加压条件下也可使用
使用范例
ALD、CVD设备的热吹扫
液化气体通常用于ALD(原子层沉积)和CVD(化学气相沉积)等真空沉积工艺，但用室温气体吹扫会发生冷却、冷凝的现象，从而使吹扫效果大打折扣。热吹扫则有效解决了这一问题。小型气体加热器HX-0020系列的的空间面积与MFC所差无几，且最高加热温度为200℃，可对使用端(POU)附近的气体进行加热，因此成为了ALD和CVD等真空沉积设备热吹扫工艺的理想选择。
规格表
| 流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接触气体部分材质 | |
| 规格 | 10SLM | 14kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不锈钢 |
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