可将100SLM的N2气体加热至300℃的小型热交换器。
特点
- 最大流量100SLM(N2换算)
- 最高使用温度300℃
- 接触气体部分接采用SUS316L不锈钢材质,可加热对其无腐蚀性的气体
- 真空、加压条件下也可使用
使用范例
气态前驱体的预热
由于化学反应的效率受温度影响,因此需要反应气体的温度进行控制。HX-0100C系列热交换器的接触气体部分采用SUS316L不锈钢材质,能够以最高300℃的温度加热流体,是用于气态前驱体预热的理想选择。
规格表
流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接触气体部分材质 | |
规格 | 100SLM | 9.8kPa | 1MPa | 300℃ | SUS316L不锈钢 |
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