MFC专用内联监视器IM-10

该产品为质量流量控制器的检测装置，检测范围包括设定电压及输出电压等电压状态。

此外，该产品内置耗电量较低的电压表，可以监控从设备发出的信号、MFC向设备发出的信号是否正常，在故障发生时可及时锁定故障原因。