LINTEC产品(质量流量控制器、汽化器、热交换器)所需配件及连接示例图。

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质量流量控制器电源设定显示器【RP-310】

用专用电缆将LINTEC的质量流量控制器和电源设定显示器(RP-310)连接,通过模拟通信对质量流量控制器的流量(瞬间或累计流量)进行设置并显示。

使用范例

  • 带电位传感器的MFC流量设定
  • 独立的 MFC 流量控制
  • 显示MFC的累计流量
  • 本地模式或远程(上部 PLC)进行MFC的流量控制

连接示例图

MFC电源设定显示器

质量流量控制器电源供应单元【PS系列】

通过使用可连接多达9个质量流量控制器的电源单元(PS系列),可以通过个人电脑或PLC等控制多个MFC。

使用范例

  • 为通过PC进行数字控制(例如 LabVIEW)的MFC提供电源供应
  • 为通过PLC进行流量控制的MFC提供电源供应

连接示例图

MFC专用电源

MFC内联监视器【IM-10】

通过在质量流量控制器和设备电源之间连接内联监视器(IM-10),可以测量输入信号,输出信号,阀门开闭信号和电源电压。您可以实时检查质量流量控制器的运行情况。

使用范例

  • 确认MFC的电源电压(±15V)
  • 确认MFC的流量设定值(0~5V)
  • 确认MFC的流量输出值(0~5V)
  • 确认输入MFC的开闭信号

连接示例图

MFC内联监视器

温度控制器【TCU系列】

通过将温度控制器(TCU系列)连接到LINTEC的气体加热器(HX系列)和液体汽化器(VU系列)等需要温度控制的产品,可以进行加热设备的电源和温度设置。

连接示例图

使用范例

  • 热交换器(HX系列)的温度控制
  • 汽化器(VU系列)的温度控制